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產(chǎn)品中心材料樣品處理小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD粉末坩堝蒸鍍儀
產(chǎn)品簡介
粉末坩堝蒸鍍儀KT-Z1650CVD是我公司專為科研院所及實(shí)驗(yàn)室用戶群體設(shè)計(jì)開發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。蒸發(fā)源可兼容金屬、有機(jī)物蒸發(fā)、金屬粉末等。配有樣品擋板，可手動或自動開/關(guān)擋板，達(dá)到及時(shí)遮擋樣品效果；觸摸屏控制，操作簡單，更有工藝儲存等功能。
| 品牌 | 鄭科探 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
粉末坩堝蒸鍍儀
鉻是受歡迎的金屬之一。鉻是一種銀色，有光澤，堅(jiān)硬，含雜質(zhì)的鉻硬而脆，具有很高的耐腐蝕性。它的熔點(diǎn)為1857℃，密度為7.2g / cm3，。它的名字來自希臘語“chroma"，意思是顏色，因?yàn)樗念伾浅ＸS富。它廣泛用于汽車工業(yè)，形成輪子和保險(xiǎn)杠上的閃亮涂層。
熔點(diǎn)（°C）1857 密度（g / cm3）固態(tài)7.19 液體6.9 沸點(diǎn)： 2672.0 ℃ 熱導(dǎo)率：90.7W/m.K (300K)
鉻粉末 
鉻顆粒
-熱蒸發(fā)源：電阻式熱蒸發(fā)舟，交流電源、坩堝蒸發(fā)；
-
腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；
-
泵：前級干泵，分子泵；
- Load Lock
樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
-
工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存；
-
襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；
- 保護(hù)樣品：配有樣品擋板，可手動或自動開/關(guān)擋板，達(dá)到及時(shí)遮擋樣品效果；
以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖：
以下是不同真空度 不同鍍膜時(shí)間碳紙鍍銅樣品圖
原樣品沒有鍍膜 
115A 100秒 機(jī)械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 
115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色
粉末坩堝蒸鍍儀KT-Z1650CVD技術(shù)資料
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制 |
加熱方式 | 數(shù)字式功率調(diào)整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大輸出電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （最大可安裝φ50基底） |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 | 70-140mm |
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) | ≤1800℃ |
支持蒸發(fā)坩堝類型 | 鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟 碳繩 |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計(jì)接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
可選配擴(kuò)展 | 機(jī)械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數(shù)顯真空計(jì)（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機(jī)組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa） |
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